Дата публикации:

Новый контроллер мощности повышает стабильность полупроводниковых и промышленных процессов

Компания Advanced Energy Industries, Inc. объявила о выпуске нового силового контроллера выпрямителя (SCR) с кремниевым управлением для прецизионного управления ламповым отоплением. Обеспечивая беспрецедентную скорость и точность, новый Thyro-XD поддерживает производство полупроводников нового поколения и промышленные процессы, требующие точного контроля температуры, особенно во время экстремальных и динамических нарастаний.

«Спрос на более компактные, быстрые и эффективные компьютерные чипы обуславливает потребность в инновационных средствах управления в оборудовании для обработки пластин для производства полупроводников», — сказал Дхавал Дхаяткар, вице-президент Advanced Energy по критически важным сенсорным и управляющим продуктам, System Power. «Новый Thyro-XD обеспечивает непревзойденную скорость и точность для контроля температуры, значительно повышая стабильность и повторяемость, особенно для систем отопления на основе ламп, в самом маленьком доступном форм-факторе».

Прибор обеспечивает высокоточное и быстрое измерение сопротивления нагрузке, что способствует более быстрому обнаружению изменений температуры и более строгому контролю процесса. Он имеет высокую плотность мощности 188 Вт/дюйм3, оптимизирован для полупроводниковых инструментов и удваивает управляемость по сравнению с другими доступными продуктами. Конвекционное охлаждение устраняет необходимость в вентиляторах, повышая простоту и надежность.

Благодаря измерению сопротивления в режиме реального времени SCR может предотвратить потенциальное повреждение резисторов, тем самым снижая потребность в дорогостоящем обслуживании и замене. Кроме того, пятикратное увеличение напряжения нагрузки, тока нагрузки и точности выходной мощности позволяет быстрее всего компенсировать колебания входного напряжения при одновременном повышении эффективности.

Thyro-XD предлагает дополнительное подключение к EtherCat через модуль Advanced Bus Module (ABM) и интерфейсные платы, что позволяет интегрировать температурную обратную связь от нескольких измерительных пирометров Advanced Energy Impac для контроля температуры в режиме реального времени.